真空退火爐要注意安全操作，運行過程中要嚴格遵守安全技術操作規程，不能脫崗，要注意經常檢查水源、儀器、真空度、電機、變壓器等是否在正常運行，如果發現有異常，要及時報告處理解決。

　　注意設備本身和設備運行中的安全，重視安全裝置的檢查和使用，操作員要檢查電路各控制開關是否能正常斷開閉合，電壓是否穩定；員工著裝要整潔，上衣下擺不能敞開，不能穿拖鞋高跟鞋。

　　注意檢查各處螺釘處鏈接是否牢固，電控柜和主機的連接線有沒有松脫現象，接地是不是良好；電器的開關是不是在關的位置上；檢查水壓、是否正常，有沒有滴漏的現象；設備在中途停水時，要立即關閉擴散泵、粗抽泵等；設備中途停電的時候，要立即關閉總電源；擴散泵加熱時要避免身體接觸擴散以免會被燙傷。